Diffúziós szivattyú, krioszivattyú, adszorpciós szivattyú (kivétel: elsősorban félvezetők vagy síkképernyős megjelenítők gyártásához használatos pumpák)
VTSZ angol megnevezése - EN
Diffusion pumps, cryopumps and adsorption pumps (excl. pumps used in semiconductor or flat panel display production)
